IR 孔洞检查机
台达智能设备
产品特色
- 高速产能，每小时筛选60~160pcs
- 依据晶圆特性分类，自动调光优化调适参数
- 光学系统焦距确认
- 瑕疵检测系统
- 优异的光学检测技术
动作流程
应用领域
半导体晶圆 IR 孔洞晶圆检测
技术规格
| 型号 | WIR-3010-2 | |||
| 产品尺寸 | 12 inch | |||
| 加工产品数/次 | 1 pcs | |||
| 速度 | 60~160 pcs/hr | |||
| I/O信号界面 | Yes | |||
| 通讯信号界面 | Ethernet / 网络 | |||
| 控制器 | PC-Based | |||
| 操作界面 | 一般屏幕 | |||
| 机架尺寸 | 约 1,750 x 2,860 x 2,000 mm | |||
| 重量 | 约2,000 kg | |||
| 气源气压 | 0.5 ~ 0.8 MPa | |||
| 电源电压 | 220 V AC ，50 / 60 Hz | |||
| 产品进出方式 | 卡夹 Cassette | |||
更多技术资料
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