晶圆分选机
台达智能设备
产品特色
弹性选配检测专案模块，最多可增加 8 个模块：
表面瑕疵、侧面瑕疵、IR 孔洞检测、OCR、平坦度、阻值、边缘轮廓量测、PN 量测
- 高速产能，每小时筛选高达 600~900 pcs
- 依据晶圆特性分类并检测缺陷，实现优化制程配方
- 可客制化多样化上下料组合
- 支持优异的光学检测技术
智慧优势
- 快速切换产品尺寸，自动换线
- 导入AI技术，智能分析晶圆缺陷
动作流程
应用领域
太阳能晶圆品质筛选
半导体晶圆品质筛选
蓝宝石基板 / 玻璃基板品质筛选
技术规格
| 型号 | SWST-600-0456-CC-0609 SWST-600-0608-CC-0609 SWSST-150CC-12 | |||
| 产品尺寸 | SWST-600系列 4 、5 、6 、8 inch | |||
| SWSST-120系列 8 inch、12 inch | ||||
| 加工产品数 | 1 pcs | |||
| 产能 | 600 ~ 900 pcs/hr | |||
| I/O 信号界面 | Yes | |||
| 通讯信号界面 | Ethernet | |||
| 控制器 | PC-Based | |||
| 操作界面 | 一般屏幕 | |||
| 机架尺寸 | 约 3770 mm ╳ 3600 mm ╳ 2250 mm | |||
| 重量 | 约3000 Kg | |||
| 气源气压 | 0.5 ~ 0.7 MPa | |||
| 电源电压 | 220 V AC ，50 / 60 Hz | |||
| 产品进出方式 | 卡夹 Cassette | |||
更多技术资料
本页为概要介绍。完整的规格、尺寸图、型录与手册请进入下列台达官方页面查看；选型、报价与技术支持欢迎直接联系我们。
